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半導(dǎo)體光刻機(jī)晶圓夾?。?.1N級電動(dòng)夾爪選型指南
在半導(dǎo)體制造的精密鏈條中，光刻機(jī)作為芯片制造的“心臟”，其晶圓上下料環(huán)節(jié)的穩(wěn)定性直接影響良品率。當(dāng)晶圓厚度逼近0.7毫米、表面電路精度達(dá)納米級時(shí)，傳統(tǒng)氣動(dòng)夾爪因夾持力波動(dòng)大、顆粒污染風(fēng)險(xiǎn)高等問題逐漸被淘汰，而能實(shí)現(xiàn)0.1N級精確力控的電動(dòng)夾爪正成為行業(yè)標(biāo)配。本文從技術(shù)參數(shù)、環(huán)境適應(yīng)性、智能化功能三大維度，解析光刻機(jī)晶圓夾取場景下電動(dòng)夾爪的選型要點(diǎn)。一、力控精度：0.1N級微力調(diào)節(jié)的“技術(shù)護(hù)城河”晶圓作為硅基材料，其表面電路對機(jī)械 【更多詳情】
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